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高频反应溅射淀积氮化硅
论文 | 更新时间：2023-12-11
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    • 高频反应溅射淀积氮化硅

    • 暂无标题

    • 中山大学学报(自然科学版)(中英文)   1976年15卷第3期 页码：50-56

    • 纸质出版日期：1976，

      网络出版日期：1976-5-25，

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  • 张景森, 许燕萍. 高频反应溅射淀积氮化硅[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 1976,15(3):50-56. DOI：

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