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导薄膜射频溅射靶的简便制作
论文 | 更新时间:2023-12-11
    • 导薄膜射频溅射靶的简便制作

    • 暂无标题

    • 中山大学学报(自然科学版)(中英文)   1992年31卷第4期 页码:128-129
    • 纸质出版日期:1992

      网络出版日期:1992-7-25

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  • 陈宝琼, 张世宏, 唐桂英, 等. 导薄膜射频溅射靶的简便制作[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 1992,31(4):128-129. DOI:

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