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射频溅射a-Si:H薄膜的光诱导Si-H键
论文 | 更新时间：2023-12-11
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    • 射频溅射a-Si:H薄膜的光诱导Si-H键

    • 暂无标题

    • 中山大学学报(自然科学版)(中英文)   1983年22卷第3期 页码：33-36

    • 纸质出版日期：1983，

      网络出版日期：1983-5-25，

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  • 章佩娴, 朱琼瑞. 射频溅射a-Si:H薄膜的光诱导Si-H键[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 1983,22(3):33-36. DOI：

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