浏览全部资源
扫码关注微信
中山大学物理学系
纸质出版日期:1997,
网络出版日期:1997-5-25,
扫 描 看 全 文
章佩娴, 姚杰. 控制上电极微结构改善高分子湿敏电容特性[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 1997,36(3):58-61.
章佩娴, 姚杰. 控制上电极微结构改善高分子湿敏电容特性[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 1997,36(3):58-61. DOI:
DOI:
通过控制金上电极的表面结构,高分子电容式湿度传感器的湿敏特性得到了改善.找到离子溅射这种最佳工艺及金上电极的最佳厚度—14nm.还显示了金上电极的厚度与湿度传感器的特性之间的关系
高分子电容式湿度传感器上电极溅射响应时间灵敏度
0
浏览量
25
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构