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离子束辅助对真空电弧沉积掺氮二氧化钛薄膜特性的影响(英文)
更新时间：2023-12-11
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    • 离子束辅助对真空电弧沉积掺氮二氧化钛薄膜特性的影响(英文)

    • 暂无标题

    • 中山大学学报(自然科学版)(中英文)   2007年46卷第S1期 页码：203-205

    • 纸质出版日期：2007，

      网络出版日期：2007-10-25，

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  • 成晓玲, 胡社军, 谢光荣, 等. 离子束辅助对真空电弧沉积掺氮二氧化钛薄膜特性的影响(英文)[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 2007,46(S1):203-205. DOI：

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