阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究

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论文 | 更新时间：2023-12-08

- 阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究
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- 中山大学学报(自然科学版)(中英文) 2007年46卷第1期页码：26-30
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  中图分类号：
- 纸质出版日期：2007，
  
  网络出版日期：2007-1-25，
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刘毅, 林晓东, 朱道云, 等. 阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 2007,46(1):26-30.
刘毅, 林晓东, 朱道云, 等. 阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究[J]. 中山大学学报(自然科学版)(中英文), 2007,46(1):26-30. DOI：

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